熱式流量控制器其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號(hào)：MFC330

更新時(shí)間：2025-02-07

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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流量計(jì)

氣密性測漏儀皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置流量顯示儀氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器流量控制器

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產(chǎn)品介紹

MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

熱式流量控制器